Hexamethyldisiloxan (HMDSO, CAS 107-46-0)
Flüchtige Organosiliciumflüssigkeit zur Oberflächenmodifizierung, PECVD und Silikonverarbeitung
Produktübersicht
Hexamethyldisiloxan (HMDSO, CAS 107-46-0) ist eine niedrigviskose, flüchtige Organosiliciumflüssigkeit, die häufig als verwendet wirdProzesslösungsmittel, Oberflächenspannungsmodifikator und siliziumhaltiger Vorläuferin fortgeschrittenen Materialanwendungen.
Im Gegensatz zu reaktiven Siloxanen wie Wasserstoff-- oder Vinyl--funktionellen Zwischenprodukten wird HMDSO hauptsächlich aufgrund seiner Eigenschaften ausgewähltphysikalische Eigenschaften, einschließlich niedriger Oberflächenspannung, chemischer Stabilität und kontrollierter Flüchtigkeit.
HMDSO wird üblicherweise bei der Silikonverarbeitung, Oberflächenbehandlung, plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung (PECVD) und Spezialbeschichtungen eingesetztgleichmäßige Filmbildung und Prozesssauberkeitsind kritisch.
Warum HMDSO verwendet wird
In vielen industriellen Prozessen, insbesondere bei oberflächenbezogenen Anwendungen, ist chemische Reaktivität nicht die primäre Anforderung.
Vielmehr kommt es auf die Leistung anBenetzungsverhalten, Verdunstungsrate und chemische Inertheit.
HMDSO wurde ausgewählt, weil es Folgendes bietet:
- Geringe Oberflächenspannung, was eine hervorragende Benetzung auf einer Vielzahl von Substraten ermöglicht
- Hohe Volatilität, unterstützt eine schnelle und rückstandsfreie Verdunstung
- Thermische und chemische Stabilität, geeignet für kontrollierte Verarbeitungsumgebungen
Aufgrund dieser Eigenschaften eignet sich HMDSO besonders für Anwendungen, bei denenProzesskontrolle und Oberflächengleichmäßigkeitwichtiger sind als die chemische Kopplung.
Typische technische Spezifikationen
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Parameter |
Typischer Wert |
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Chemischer Name |
Hexamethyldisiloxan |
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CAS-Nummer |
107-46-0 |
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Molekulare Formel |
C₆H₁₈OSi₂ |
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Aussehen |
Farblose transparente Flüssigkeit |
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Reinheit (GC) |
Größer oder gleich 99,0 % |
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Viskosität (25 Grad) |
~0,65 mPa·s |
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Dichte (20 Grad) |
~0,76 g/cm³ |
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Siedepunkt |
~101 Grad |
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Flammpunkt |
~0 Grad |
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Oberflächenspannung (20 Grad) |
~18 mN/m |
Typische Werte dienen zu Referenzzwecken und sind nicht als Spezifikationsgrenzen gedacht.
Wichtige funktionale Erkenntnisse
HMDSO besteht aus einem nicht-polaren Disiloxan-Rückgrat, das vollständig mit Methylgruppen substituiert ist, was zuminimale chemische Reaktivitätund ausgezeichnete Kompatibilität mit silikonbasierten Systemen-.
Seine Molekülstruktur sorgt für ein Gleichgewicht zwischen Flüchtigkeit und Stabilität und ermöglicht HMDSO die Funktion alseffektive Trägerflüssigkeit oder Prozessmedium.
In Plasma- und CVD-Prozessen dient HMDSO alsSilizium-haltiger Vorläufer, was zur Bildung gleichmäßiger Siliziumoxid- oder Organosiliziumfilme unter kontrollierten Bedingungen beiträgt.
Anwendungsbereiche
Oberflächenbehandlung und Benetzungskontrolle
Verbessert die Verteilung und gleichmäßige Abdeckung auf Substraten mit geringer Oberflächenenergie.
PECVD- und Plasmaprozesse
Wird als Vorstufe für siliziumhaltige Dünnfilme in Elektronik- und Funktionsbeschichtungen verwendet.
Silikonverarbeitung und -formulierung
Fungiert als flüchtiger Träger oder Viskositätsreduzierer in silikonbasierten Systemen-.
Spezialbeschichtungen und -folien
Unterstützt eine reibungslose Filmbildung und ein kontrolliertes Verdunstungsverhalten.
Auswahlnotizen
HMDSO wird normalerweise ausgewählt, wenn:
Geringe Oberflächenspannung und gute Benetzung sind erforderlich
Eine schnelle und rückstandsfreie Verdunstung wird bevorzugt
Chemische Inertheit ist wichtig für die Prozessstabilität
Für Anwendungen, die Folgendes erfordernreaktive funktionelle GruppenHMDSO wird häufig mit funktionellen Silanen oder Siloxanen wie zTMDSoderDVTMDS, anstatt als eigenständiger Reaktant verwendet zu werden.
Handhabung und Lagerung
Hexamethyldisiloxan-Silan-Siloxan wird in 150-kg-Stahlfässern geliefert.
Im ungeöffneten Originalgebinde ist Hexamethyldisiloxan an einem trockenen und kühlen Ort ein Jahr haltbar.
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